target在英文的翻譯是目標的意思,但在真空行業它則是靶材的意思,那么什么是靶材呢?下面詳細說明:

 

1.什么叫靶材?什么叫濺射靶材?兩者之間有何區別?

 

靶材--是對物理氣相沉積技術應用的鍍膜材料形象而直觀的稱呼。在沉積過程中,膜材要受到電子束、離子束或放電離子的轟擊,就象被射擊的靶子一樣,所以通俗的將這類材料叫做靶材。

濺射靶材——是靶材的一種,它是特指應用于真空濺射法鍍膜的靶材。
從嚴格意義上來說,濺射靶材范圍要小一些,但在實際應用中,通常將靶材都叫都濺射靶材。

 

2.靶材的種類,主要靶型

 

靶材種類按其成分可分為:純金屬、合金和化合物。
純金屬:鋁、金、銀、鉻、鎳、鉭、鈦、銅、錫等。
合金:鈦鋁、鈦鉻、鈦硅、鎳鉻、鎳銅、鉻鉬、鉻鎢、鉻釩、鎳釩、鋱鐵鈷、銦銀銻碲等。
化合物:氧化物、硅化物、碳化物、氮化物等。
主要靶型:同軸圓柱靶、圓形平面靶、矩型平面靶、旋轉式圓柱矩形靶、S-槍靶、特殊結構靶等。

target是什么意思?

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